自动椭偏仪 MARY-102

（膜厚测量系统）

椭偏仪是一种光学仪器

测量/分析厚度和光学常数

薄膜或散装材料的光学常数。

大纲： 椭偏仪是一种光学仪器，它测量 光束从样品表面反射时的偏振态变化，以分析 薄膜厚度、折射率/吸收等 光学常数或散装材料的光学常数。 MARY-102 是基于集成技术开发的， 其座右铭是：紧凑的尺寸、更低的价格、更高的精度和用户友好的 软件。 特征： 高准确率 通过旋转延迟器（四分之一波片）方法，可以测量难以通过旋转分析仪方法测量的区域。 用户友好的软件 MARY-102 的软件可以从两个版本中选择，以满足每个应用程序的要求。 1）“工业版”提供智能测量样品的功能， 操作简单。 2）“研究版”提供了出色 的模拟测量和分析功能。 椭偏仪规格：

方法 旋转减速器方法 光源 0.8 mW HeNeLaser (λ@632.8nm) 光束直径 0.8mm Φ 入射角 自动、手动或固定 （自动：45-90 度，0.01 度步进） 样品台 6" 标准（8" 和 12" 可选）  自动 θ-Y 或手动 θ-Y  电机驱动 Z 轴或手动 Z 轴  手动倾斜控制 准确性 Δ=±0.01 度 Ψ=±0.01 度 @SiO2(1000Å)/Si 采样时间 最少 0.05 秒 软件 从“研究”或“工业”中选择 个人电脑 IBM-PC 兼容 方面 300(W) x 400(D) x 450(H)mm 电力供应   AC100V(±10) 5A（最大）

《椭偏仪的测量原理》

将某种状态的光照射到薄膜上，测量反射光的变化情况。

“某种状态”通常是“线偏振光”，反射光状态是“椭圆偏振光”
、“圆偏振光”，或者保持“线偏振光”。我会的。
“两极分化”这个词大家可能不熟悉，但是有很多网站都有详细的解释，
有空请自行搜索。

顺便说一句，在第一部分“什么是椭偏仪
一种测量薄膜厚度等的设备。””中，为了清楚起见，我写道“椭偏仪是 根据测得的光照条件信息，通过后续的“计算”计算出膜厚等。

另外，斜射光时，必须牢牢把握在哪个角度（入射角）照射。这也是计算膜厚时的一个重要因素。
因此，椭偏仪的光源侧（左侧）和传感器侧（右侧）的倾斜度都得到了稳固的调整。
在大多数情况下，入射角为 70 度。（垂直撞击时的入射角被认为是0度）

顺便说一句，在第一张照片顶部的 CDD 监视器上有一个看起来像眼球的东西，但这
被称为“自准直仪”，它是一种用光观察样品倾斜度的测量仪器。
在 Ellipso 中，它用于确保样品水平放置。
* 如果样品本身不是水平放置的，则很难掌握入射角。

反射光的状态，即偏振状态，
用Ψ(psi)和Δ(delta)两个参数来表示。
根据测得的 Ψ 和 Δ，计算薄膜的厚度和它的折射率。

《椭偏仪的光源》

椭偏仪可大致分为以激光为光源的椭偏仪（单波长型）和
以氙灯等白光为光源的椭偏仪（光谱型）。

分光型可以进行比单波长型更复杂的测量。
换言之，也可以详细分析多层膜（相互层叠的膜）以及膜与基板（界面）之间的状态。
然而，困难在于这种分析是困难的。此外，设备价格会更高。

单波长型基本上是针对单层（单层）薄膜的，但它比分光型
具有更便宜、测量速度更快、更易于操作的优点。