5LAB Non-contact optical thickness instrument Teth-101 5LAB
可进行凹凸透镜、弯月面测量
香脂镜片
非接触式测量
高速测量
带对中调整机构
非接触式镜片厚度测量装置

● 可进行凹凸透镜、弯月面测量
● 香脂镜片
● 非接触式测量
● 高速测量
● 带对中调整机构

- 特征 -
● 光学千分尺采用迈克尔逊干涉法。
它是一种非接触、无损的故障测量装置。
● 测量接触式难以测量的弯月透镜壁厚
是可能的。
● 由于使用1.3μSLD作为光源,因此可以测量Si等。
● 因为是光纤干涉系统
结构紧凑,抗振性强,非常适合现场使用。

- 规格 -
测量方法:迈克尔逊干涉法
光源:1.3μ
精度:±1μ(硅片)
分辨率:1μ或更小(*)
光束直径:φ1 mm(聚光光学系统)
样品厚度:标准 10 毫米(可选 15 毫米)(bk-7)
测量时间:最短 40 毫秒(测量时间因积分数而异)
机身尺寸:150 x 125 x 180 (mm) (深 x 宽 x 高)
信号处理系统:290 x 330 x 140(mm)(深x宽x高)
* 因测量样品而异
★ 弯月透镜测量方法


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