翁工
Trioptics WaveMaster® 全欧光学
WaveMaster®波前测量仪
WaveMaster®是应用于球面及非球面光学系统波前实时测量和分析的仪器，具备高空间分辨率和高精度的特征；整合了目前最先进的波前传感技术，并配备有光源、样品承载台、准直系统或望远扩（缩）束系统及波前传感器，可轻松的构建有限轭或无限轭测量模式。
产品型号：
Ø WaveMaster® Compact | Ø WaveMaster® LAB |
Ø WaveMaster® PRO | Ø WaveMaster® PRO Wafer |
Ø WaveMaster® PRO Reflex | Ø WaveMaster® Smartgage |
WaveMaster® COMPACT
产品介绍：
WaveMaster® COMPACT系列产品可以简单快速的完成对球面或非球面镜片波前质量的检测，并运用泽尼克多项式实时分析波前数据，在生产和研发上都有着广泛应用。WaveMaster® COMPACT Universal是专业级的波前测量仪，集成了WaveMaster® COMPACT和WaveMaster® COMPACT Reflex所有功能。
应用范围：
各种球面或非球面镜片光学波前面和镜片或镜头的表面面形的检测。
产品型号：
Ø WaveMaster® COMPACT |
Ø WaveMaster® COMPACT Universal |
Ø WaveMaster® COMPACT Reflex |
技术指标：
产品型号 | WaveMaster® COMPACT | WaveMaster® COMPACT Reflex | WaveMaster® COMPACT Universal |
测量范围 | 球面、非球面镜片的光学波前面 | 镜片、镜头的表面面型 | 球面、非球面镜片的波前质量 镜片、镜头的表面面形 |
测量模式 | 透射式 | 反射式 | 反射式 透射式 |
精度指标 | 微透镜阵列：138×138 波前测量精度：<l/20 (RMS) 波前测量重复性：<l/200 (RMS) 波前测量动态范围：2000 l 测量频率：12Hz | 微透镜阵列：138×138 表面面形测量精度：<0.050 µm (RMS) 表面面形测量重复性：<0.005 µm (RMS) 表面面形动态范围：> 200 µm 最大非球面度：≤7° 测量频率：12Hz | 微透镜阵列：138×138 波前测量精度：<l/20 (RMS) 波前测量重复性：<l/200 (RMS) 波前测量动态范围：2000 l 表面面形测量精度：<0.050 µm (RMS) 表面面形测量重复性：<0.005 µm (RMS) 表面面形动态范围：> 200 µm 最大非球面度：≤7° 测量频率：12Hz |
传感器类型 | WaveSensor 150 | ||
样品口径 | 0.5mm…14mm （根据望远镜放大率选配） | 0.5mm…18mm | 6mm…14mm（标配） |
样品焦距 | -30mm…100mm （根据数值孔径NA选配） | —— | -12mm…50mm（标配） |
样品半径 | —— | -50 mm…30mm | —— |
光源 | 标配532nm 可扩展波长365nm…1064nm | 365nm或635nm | 透射模块：532nm 反射模块：635nm |
样品夹持器 | 单孔位 手动调节 | ||
WaveMaster® LAB Horizontal
大口径研发型波前测量仪
WaveMaster® LAB是一款非常适合在实验室里应用的仪器。它作为一个实验装置台，使用灵活，可使不同的光学结构放置在同一水平方向测量。它可提供透射式无限轭或有限轭模式进行测量，适用于口径较大的样品。
应用范围：
适用于实验室内大口径精密镜头或镜片的波前测量。
技术指标：
测量项目 | 波前质量，泽尼克系数等 |
测量波长 | 532nm（其它要求可定制） |
波前传感器 | WaveSensor® 150 |
阵列透镜数量 | 138×138 |
波前测量精度 | 优于<λ/20（RMS） |
波前测量重复性 | 优于<λ/200（RMS） |
动态范围 | 2000λ |
数值孔径 | 0.55（其它要求可定制） |
被测样品直径 | 最大96mm（按客户要求定制） |
被测样品焦距 | 按客户要求定制 |
WaveMaster®PRO
量产型波前测量仪
WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量的大批量检测的需求而研发的两款仪器，可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO2和WaveMaster® PRO reflex 2配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO Wafer 2则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
应用范围：
生产线上的大批量镜头波前和表面面形的检测
晶圆级镜头的波前检测
产品型号及技术指标
产品型号 | WaveMaster® PRO 2 | WaveMaster® PRO Wafer 2 | WaveMaster® PRO reflex 2 | ||
测量范围 | 大批量测量单个小镜片的波前质量 | 测量晶圆级镜头的波前质量 | 大批量测量单个小镜片的表面面形 | ||
仪器配置 | 透射式 | 反射式 | |||
精度指标 | 测量时间：< 3秒（每片） 空间分辨率：138×138 波前测量精度：<l/20 (RMS) 波前测量重复性：<l/200 (RMS) 波前测量动态范围：2000 l 测量频率：12Hz | 测量时间：< 3秒（每片） 空间分辨率：138×138 表面面形测量精度：<0.050 µm (RMS) 表面面形测量重复性：<0.005 µm (RMS) 表面面形动态范围：> 200 µm 最大非球面度：≤7° 测量频率：12Hz | |||
传感器类型 | WaveSensor® 150 | ||||
样品口径 | 2.5mm…3mm （根据望远镜放大率选配） | 0.5mm…18mm | |||
样品半径 | —— | -50 mm…30mm | |||
样品焦距 | -10mm…30mm （根据数值孔径NA选配） | —— | |||
光源波长 | 标配532nm 可扩展波长365nm…1064nm | 365nm或635nm | |||
样品夹持器 | 托盘式 Ÿ 多孔位 Ÿ 自动定位 | 托盘式（4”、6”、8”） Ÿ 晶圆托盘 Ÿ 自动定位 Ÿ 自动判定晶圆方向 | 托盘式 Ÿ 多孔位 Ÿ 自动定位 | ||
WaveMaster® Smartgage
小型表面面型检测仪
WaveMaster® Smartgage是一台检测小型球面或平面镜片表面轮廓的非常理想的工具。它结构小巧，便于在生产车间放置。WaveMaster® Smartgage采用先进的哈特曼一夏克技术，只需一秒钟即可判定产品是否合格，使高品质的现场管理成为可能。
适用范围：
Ÿ 材料：玻璃、陶瓷、塑料和晶体的抛光面
Ÿ 加工过程：研磨抛光、玻璃或塑料注塑、精密车床加工
Ÿ 样品直径：球面为1…25.4mm、平面为5…25.4mm
Ÿ 样品反射率：1…100%
技术指标：
测量项目 | 反射式测量球面、平面镜片表面面型 相对曲率半径（可选） |
测量波长 | 635nm |
出射光束直径 | 1英寸（25.4mm） |
测量孔径 | f/1 和 f/2 |
测量时间 | ≤1秒 |
样品夹持器移动距离 | Z-方向：80mm X-方向：2mm Y-方向：2mm |
光强 | ＜1mW，手动可调 |
工作位置 | 仪器顶部，下光路照明模式 |
仪器精度RMS | PV重复性：λ/100 RMS重复性：λ/500 测量精度：λ/10 相对曲率半径测量：5×R-1.5%（R=mm） |
尺寸 | 220mm×275mm×205mm |
重量 | 4.5kg |
电源 | 输入：90-264VAC/47-63Hz 输出：12VDC/15W |
温度 | 工作温度：18°- 30° 储存温度：10°- 35° |
相对湿度 | ＜80% |
产品配置：
基础配置 | 标准配置 | 高级配置 | |
可测量球面和平面样品 | + | + | + |
显示PV、RMS、泽尔尼克系数和塞德耳系数 | + | + | + |
显示合格/不合格 | - | + | + |
图像显示方式 | 2D | 2D | 2D |
相对曲率半径测量 | - | + | + |
测量数据协议发生器 | - | - | + |
测量数据输出方式 | - | USB | USB,LAN |
可使用用户自制工装 | - | - | + |
升级 | + | + | - |
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