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三维激光加工设备
可搭载纳秒，皮秒和飞秒激光器，覆盖多种波长，该设备结合三维运动平台，可广泛应用于激光钻孔，激光标刻，激光切割，雕刻成型等微加工领域。
SDM-1型晶圆划片机
复杂曲面高功率皮秒激光五轴微加工系统
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