i3D 光学形貌3D检测设备
i3D 系列产品是非接触式光学面形检测设备,可实现旋转对称光学元件3D形貌的超精密、高速测量。适用于透明与非透明、光滑与粗糙等多种表面类型的检测分析。
DI 100 高精度动态干涉仪
传统移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面来获取干涉条纹的图像,并计算相位分布。这种方法的缺点是单次测量至少需要100 毫秒,期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动,导致干涉条纹发生波动,从而增加测量误差。为了解决这些问题,DI 100 动态干涉仪采用了“动态干涉测量”技术,无需机械移动参考平面,一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移,可以稳定地收集数据,并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒,因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量
µPhase® UNIVERSAL 100 卧式干涉仪
OptoFlat® 高精度低相干干涉仪
高精度干涉仪 Trioptics μPhase®
用于测量高精度要求的光学零件,材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等,非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行最精确的评价
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