DI 100 高精度动态干涉仪
传统移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面来获取干涉条纹的图像，并计算相位分布。这种方法的缺点是单次测量至少需要100 毫秒，期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动，导致干涉条纹发生波动，从而增加测量误差。为了解决这些问题，DI 100 动态干涉仪采用了“动态干涉测量”技术，无需机械移动参考平面，一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移，可以稳定地收集数据，并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒，因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量
传统移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面来获取干涉条纹的图像，并计算相位分布。这种方法的缺点是单次测量至少需要100 毫秒，期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动，导致干涉条纹发生波动，从而增加测量误差。为了解决这些问题，DI 100 动态干涉仪采用了“动态干涉测量”技术，无需机械移动参考平面，一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移，可以稳定地收集数据，并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒，因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量。
产品特性
*动态干涉仪具有较强的抗干扰能力,能够在振动、温度变化、气流等复杂环境中保持稳定的测量结果。
*动态干涉仪能够实现实时测量,适用于高速、动态的测量场景。
*超长光路的测量,通过结合补偿法,可以克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响,实现超大口径凹/非球面的精密检测。
*动态干涉仪通过优化光栅设计和光路设置,提高了光能量的利用率,解决了普通二维光在动态干涉术中光能量利用不足的问题。
*动态干涉仪通过改进光路设计,如使用Twin-PBS结构,可以有效消除测量光路中PBS胶合层所引入的寄生条纹误差。
*动态干涉仪可以测量多个物理参数,如位移、气流等,提供全面的测量数据。
D1 100
D1 100测量软件
产品型号及技术指标
产品型号 | D1 100 |
最小曝光 | 40ms |
样品反射率 | 1–100% |
RMS 重复性 | <0.001λrms* |
RMS 精度 | <0.002λrms** |
获取模式 | 单相机（光学相位传感器） |
光路结构 | 光纤耦合头和激光源模块，光纤长度 3/5 米（可定制） |
激光光源 | 稳频氦氖激光源，波长 632.8 nm |
激光功率标准 | <1.5 mW |
最大腔长 | >100 m |
出瞳直径 | 7 mm |
扩束镜 | 范围 f#1—f#25 |
偏振态 | 圆形偏振 |
焦距范围 | ±12.5 mm，与光学放大倍数相关 |
放大倍率 | 1X，固定 |
相机 | 5MPx，12 位色深 |
电动控制 | 焦距、对比度调整 |
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