量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO2 全欧光学
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准，并根据该标准自动判定合格和不合格。
WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统，实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
产品型号及技术指标
| 产品型号 | WaveMaster® PRO 2 | WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 | 批量测量单个小镜片的波前质量 | 批量测量晶圆级镜片的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
| 动态范围 | 2000λ | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz | 12Hz |
| 测量时间 | <3秒/颗 | <3秒/颗 |
| 样品口径 | 6mm...14mm | 6mm...14mm |
| 样品焦距 | -12mm...50mm | -12mm...50mm |
| 光源波长 | 532nm | 532nm |
| 样品夹持器 | 托盘式，自动定位多孔位（最多100个） | 托盘式，自动定位晶圆托盘（4″/6″/8″）自动判定晶圆方向 |
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