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量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO2 全欧光学

量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统,实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。

量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格。


WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统,实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。



产品型号及技术指标


产品型号

WaveMaster® PRO 2

WaveMaster® PRO 2 Wafer

应用范围

批量测量单个小镜片的波前质量

批量测量晶圆级镜片的波前质量

测量模式透射式透射式
空间分辨率138×138138×138
测量精度<λ/20 (RMS)<λ/20 (RMS)
测量重复性<λ/200 (RMS)<λ/200 (RMS)
动态范围2000λ2000λ
测量频率12Hz12Hz
测量时间<3秒/颗<3秒/颗
样品口径6mm...14mm6mm...14mm
样品焦距-12mm...50mm-12mm...50mm
光源波长532nm532nm
样品夹持器

托盘式,自动定位多孔位(最多100个)

托盘式,自动定位晶圆托盘(4″/6″/8″)自动判定晶圆方向


量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO2
量产型波前测量仪 WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量大批量检测需求而研发的两款仪器。可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配备托盘系统,实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO 2 Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。
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