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AZURE NX 深紫外光激光器

紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。

紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。 


Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。 


型号名称输出功率 (W) 线宽 (kHz)指向(主动稳定型)(urad)M2

RMS 噪声 (%) 

(10 Hz 至 500 MHz)

Azure NX 266-1000 1< 500 20 < 1.3 < 0.5 


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AZURE NX 深紫外光激光器
紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。
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