非接触式镜片厚度测量仪。其测量数据经过数字信号处理器计算，以图形的形式显示在用户界面。可直接读取、显示光学系统每层厚度值，操作简单、直观易上手。

TETH-101非接触式光学测厚仪利用OCT（光学相干断层扫描）,它是一种与迈克尔逊干涉仪相结合的非接触式的断层扫描仪。用它来精确测量镜片厚度，以宽谱光源作为相干光源,其相干长度短，只有在测量光和参考光的光程相等时才能产生干涉峰值，因此具有很好的空间定位特性。测厚仪内置光学干涉仪，通过计算透镜前后镜面顶点对应干涉峰之间的距离变化可以得出透镜的中心厚度。

应用

测量镜片的中心厚度、空气间隔。

测量过程

①将被测样品放在测量头正上方

②进入设置，输入样品信息

③激光经过测量头照射到材料表面，再收集每一面反射回去的信号

④再由USB传输到电脑,然后通过系统干涉仪进行分析

⑤软件显示测量结果、设置参数和输出报告

※测量头固定在支架上无需调整。

测量过程中通过调节高度旋钮来调整测量头的工作距离。

通过调节 sh if t 旋钮和 t i l t 旋钮来使被测样品表中心垂直于测量头激光入射方向。此时软件界面显示出对应的干涉峰值图像。

测量软件

光学测厚仪可实时显示被测产品的厚度和干涉信号，最多可以测量三层厚度（包括空气间隔）。软件可自动识别在指定的阈值内最接近预期峰值位置的信号，从而计算并输出每层的厚度。此外，软件还带有判据功能，当超出设计值的公差范围时，数据变成红色表示出现异常。

规格参数

※ 折射率为 1 . 5 的材料

优势

● 非接触式测量不会造成元件表面损坏或变形

● 最多可同时测量 3 层厚度

● 最高精度 ± 5 微米

● 测量重复性可达 ±3 微米

● 集成装置，操作简便

*非接触、微面积测量实例

测厚仪的测量光束直径为 Φ0.8mm ，集中光束为0. 03mm ，因此，即使是通常难以测量的微小凹凸透镜的壁厚也可以准确测量，且不会刮伤它们。

图1 样品的几何形状和测量方法