OptiSurf®镜面定位仪 全欧光学
德国全欧光学TRIOPTICS 设计、生产的OptiSurf®镜面定位仪 为用于高精度地测量光学系统中的光学元件中心厚度和空气间隔;OptiSurf®镜面定位仪基于低相干干涉原理,采用非接触式测量,是光学系统装调中检测和控制空气间隔最理想的工具。
产品应用
*非接触式测量光学系统中光学元件中心厚度和空气间隔
产品参数
产品型号 | OptiSurf® | OptiSurf® UP | |
测量波长 | 1310nm | 1310nm | |
测量精度❶ | ±1μm | ±0.15μm | |
重复精度 | ±0.5μm | ±0.075μm | |
测量范围❷ | 400mm / 600mm / 800mm光程 | ||
测量速度 | 15秒/100mm | ||
温度及气压传感器 | 选配 | 标配 | |
光轴调整工具 | 选配 | 选配 |
❶ 2σ测量标准空气间隔
❷ 最小可测量间隔35μm