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高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪

LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在光学干涉仪上进行分析,光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”,它测量每个反射信号的长度差,以确定每一层的厚度和总厚度。

LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在光学干涉仪上进行分析,光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”,它测量每个反射信号的长度差,以确定每一层的厚度和总厚度。



产品特点


*非接触式测量,不会造成元件表面损坏或变形

*用于高精度定位测量位置的可见光束

*可同时测量31层壁厚

*精度可达±0.1微米

*测量重复性达±0.02微米

*基于内部固有长度标准,实时显示测量数据


*测量结果可追溯至NIST标准

*测量物理厚度可达12微米(折射率1.5时)

*集成装置,操作简便,更无需专用PC





产品型号及技术指标


规格参数



LensThick 系列

型号

12-1 UP

12-1

40-1 UP

40-1

厚度测量


方法

非接触式光学干涉法


光学厚度上限

(折射率为1的空气间隔)

12 mm

40 mm


物理厚度上限

(折射率为1.5的材料)

8 mm

26 mm


物理厚度下限

(折射率为1.5的材料)

16 μm(±0.1μm精度)

12 μm(±1 μm精度)

35 μm

20 μm(±0.1μm精度)

12 μm(±1 μm精度)

35 μm


精度  1,2

±0.1 μm

±1 μm

±0.1 μm

±1 μm


重复性  3,4

±0.02 μm

±0.05 μm

±0.02 μm

±0.05 μm


可溯源

NIST认证标准


单位

mm、μm、mils

测量频率

20 Hz

7 Hz

仪器接口

USB2.0及以上接口

电脑配置 

Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,鼠标

环境  5


热机时间


温度

15℃到30℃(存储-10℃到+70℃)


压力

500 — 900 mm Hg


湿度

在+40℃时≤90% R.H.(无冷凝)

尺寸和重量


尺寸

510mm×525mm×125mm(长×宽×高)


重量

17.2㎏

功率

90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大

质保期

1年


高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在光学干涉仪上进行分析,光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”,它测量每个反射信号的长度差,以确定每一层的厚度和总厚度。
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