高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪 欧普特
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度，其测量原理为：测量激光照射到被测试材料上，经过每个表面反射后被收集，然后在光学干涉仪上进行分析，光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”，它测量每个反射信号的长度差，以确定每一层的厚度和总厚度。
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度，其测量原理为：测量激光照射到被测试材料上，经过每个表面反射后被收集，然后在光学干涉仪上进行分析，光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”，它测量每个反射信号的长度差，以确定每一层的厚度和总厚度。
产品特点
*非接触式测量，不会造成元件表面损坏或变形
*用于高精度定位测量位置的可见光束
*可同时测量31层壁厚
*精度可达±0.1微米
*测量重复性达±0.02微米
*基于内部固有长度标准，实时显示测量数据
*测量结果可追溯至NIST标准
*测量物理厚度可达12微米（折射率1.5时）
*集成装置，操作简便，更无需专用PC
产品型号及技术指标
规格参数 | LensThick 系列 | ||||
型号 | 12-1 UP | 12-1 | 40-1 UP | 40-1 | |
厚度测量 | |||||
方法 | 非接触式光学干涉法 | ||||
光学厚度上限 （折射率为1的空气间隔） | 12 mm | 40 mm | |||
物理厚度上限 （折射率为1.5的材料） | 8 mm | 26 mm | |||
物理厚度下限 （折射率为1.5的材料） | 16 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） | 35 μm | 20 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） | 35 μm | |
精度 1,2 | ±0.1 μm | ±1 μm | ±0.1 μm | ±1 μm | |
重复性 3,4 | ±0.02 μm | ±0.05 μm | ±0.02 μm | ±0.05 μm | |
可溯源 | NIST认证标准 | ||||
单位 | mm、μm、mils | ||||
测量频率 | 20 Hz | 7 Hz | |||
仪器接口 | USB2.0及以上接口 | ||||
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，鼠标 | ||||
环境 5 | |||||
热机时间 | 无 | ||||
温度 | 15℃到30℃（存储-10℃到+70℃） | ||||
压力 | 500 — 900 mm Hg | ||||
湿度 | 在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝） | ||||
尺寸和重量 | |||||
尺寸 | 510mm×525mm×125mm（长×宽×高） | ||||
重量 | 17.2㎏ | ||||
功率 | 90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 | ||||
质保期 | 1年 | ||||
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