OptoFlat® 高精度低相干干涉仪 全欧光学
OptoFlat® 高精度低相干干涉仪是行业内独有的低成本、高稳定性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命633nm的LED光源,波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学元件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响,所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰,直接测得目标表面的面型精度。对于测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影响。
产品特点
*自动光强调节与FlexFlatTM传输平台相结合,减少了操作人员在测量时的干预
*无需反复测量,无需扫描测试位置
*与其他基于激光的Fizeau干涉仪不同,OptoFlat集成了长寿命的LED光源
*内置专有的PurePhaseTM方法提升了在不稳定的振动环境中的干涉相位测量
*校准过的低畸变1X和4X光学放大率的比例尺准确的测试面积尺寸,可自动标记或用户定义有效通光孔径,便于判定测试合格/不合格
*简单易用的测试软件界面便于光学元件的批量测量,使任何人只要稍加培训就可以轻松测试多样的光学元件,专业的样品承载台可快速批量测试每个零件。非接触式传感开始 测量并能快速分析判断产品合格/不合格
*设计简洁,占地小
产品应用
*测量抛光光学表面的面型和透射波前
技术规格
放大倍率 | 1X放大倍率 | 4X放大倍率 |
有效测量区域 | Φ101.6mm | Φ25.4mm |
相机分辨率 | 1200×1200pixels | 1920×1200pixels |
相机频率 | 40Hz | |
空间采样 | 88μm/pixels | 22μm/pixels |
畸变 | 0.089% | 0.05% |
景深 | +/-12.6mm | +/-2.2mm |
RMS测量精度 | 0.1nm | |
RMS重复性 | 0.03nm | |
波长 | 633nm,1nmFWHM | |
相干深度 | 300μm | |
工作距离 | 90mm | |
倾斜调整范围 | +/-2° | |
平移调整范围 | +/-8mm | |
样品承载台 | 175×175mm | |
轴向移动范围 | 65mm连续移动,100mm拆掉垫圈 | |
最大被测样品 | 100mm厚,5kg重 |