紧凑型波前测量仪 Trioptics WaveMaster® Compact 全欧光学
波前测量仪 Trioptics WaveMaster® 球面或非球面镜片光学波前面和镜片或镜头的表面面形的检测.合了目前最先进的波前传感技术,并配备有光源、样品承载台、准直系统或望远扩(缩)束系统及波前传感器,可轻松的构建有限轭或无限轭测量模式。
紧凑型波前测量仪 WaveMaster®ᅠCompact系列产品可以简单快速的完成对球面或非球面镜片波前质量的检测,并运用泽尼克多项式实时分析波前数据,在生产和研发上都有着广泛应用。WaveMaster® Compact 2 Universal是专业级的波前测量仪,集成WaveMaster® Compact 2和WaveMaster® Compact 2 Reflex所有功能。
产品型号及技术指标
产品型号 | WaveMaster® COMPACT | WaveMaster® COMPACT Reflex | WaveMaster® COMPACT Universal |
测量范围 | 球面、非球面镜片的光学波前面 | 镜片、镜头的表面面型 | 球面、非球面镜片的波前质量 镜片、镜头的表面面形 |
测量模式 | 透射式 | 反射式 | 反射式 透射式 |
精度指标 | 微透镜阵列:138×138 波前测量精度:<l/20 (RMS) 波前测量重复性:<l/200 (RMS) 波前测量动态范围:2000 l 测量频率:12Hz | 微透镜阵列:138×138 表面面形测量精度:<0.050 µm (RMS) 表面面形测量重复性:<0.005 µm (RMS) 表面面形动态范围:> 200 µm 最大非球面度:≤7° 测量频率:12Hz | 微透镜阵列:138×138 波前测量精度: 波前测量重复性:<l/200 (RMS) 波前测量动态范围:2000 l 表面面形测量精度:<0.050 µm (RMS) 表面面形测量重复性:<0.005 µm (RMS) 表面面形动态范围:> 200 µm 最大非球面度:≤7° 测量频率:12Hz |
传感器类型 | WaveSensor 150 | ||
样品口径 | 0.5mm…14mm (根据望远镜放大率选配) | 0.5mm…18mm | 6mm…14mm(标配) |
样品焦距 | -30mm…100mm (根据数值孔径NA选配) | —— | -12mm…50mm(标配) |
样品半径 | —— | -50 mm…30mm | —— |
光源 | 标配532nm 可扩展波长365nm…1064nm | 365nm或635nm | 透射模块:532nm 反射模块:635nm |
样品夹持器 | 单孔位 手动调节 |