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椭偏仪MARY-102 薄膜厚度、光学常数以及材料微结构光学测量仪 5LAB

椭偏仪是一种光学仪器,它测量
光束从样品表面反射时的偏振态变化,以分析
薄膜厚度、折射率/吸收等
光学常数或散装材料的光学常数。
MARY-102 是基于集成技术开发的,
其座右铭是:紧凑的尺寸、更低的价格、更高的精度和用户友好的软件。


自动椭偏仪 MARY-102 (膜厚测量系统)是一种光学仪器,它测量光束从样品表面反射时的偏振态变化,以分析薄膜厚度、折射率/吸收等光学常数或散装材料的光学常数。MARY-102 是基于集成技术开发的,优点包括:紧凑的尺寸、更低的价格、更高的精度和用户友好的软件。


 

技术规格

    

方法旋转减速器方法
光源0.8 mW HeNeLaser (λ@632.8nm)
光束直径0.8mm Φ
入射角自动、手动或固定
(自动:45-90 度,0.01 度步进)
样品台6" 标准(8" 和 12" 可选)
 自动 θ-Y 或手动 θ-Y
 电机驱动 Z 轴或手动 Z 轴
 手动倾斜控制
准确性Δ=±0.01 度
Ψ=±0.01 度
@SiO2(1000Å)/Si
采样时间最少 0.05 秒
软件从“研究”或“工业”中选择
个人电脑IBM-PC 兼容
方面300(W) x 400(D) x 450(H)mm
电力供应  AC100V(±10) 5A(最大)




























测量原理


椭偏仪的光源侧(左侧)和传感器侧(右侧)的倾斜度都得到了稳固的调整。

在大多数情况下,入射角为 70 度。(垂直撞击时的入射角为0度)

反射光的状态,即偏振状态,用Ψ(psi)和Δ(delta)两个参数来表示。

根据测得的 Ψ 和 Δ,计算薄膜的厚度和它的折射率。



光源


椭偏仪可大致分为以激光为光源的椭偏仪(单波长型)和以氙灯等白光为光源的椭偏仪(光谱型)。

分光型可以进行比单波长型更复杂的测量。也可以详细分析多层膜(相互层叠的膜)以及膜与基板(界面)之间的状态。

单波长型基本上是针对单层(单层)薄膜的,但它比分光型具有更便宜、测量速度更快、更易于操作的优点。


椭偏仪MARY-102 薄膜厚度、光学常数以及材料微结构光学测量仪
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